| 产品特性：*** | 是否进口：是 | 原产国/地区：日本 |
| 类型：电子显微镜 | 品牌：日本lasertec | 型号：optelics HYBRID+L7 |
| 目镜放大倍数：150 | 物镜放大倍数：150 | 仪器放大倍数：1 |
| 重量：40KGg | 适用范围：半导体行业 | 装箱数：1 |
| 加工定制：是 | 规格：1 |
千斗工业品-专注生产检测设备、电子测试设备、理化分析仪器、计量工具、工业控制仪表等日本与韩国工业品一站式代购与销售，如有需要可直接致电咨询。
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日本lasertec 白光+激光多功能共聚焦扫描显微镜 optelics HYBRID+L7
OPTELICS?HYBRID系列共聚焦激光扫描显微镜是日本Lasertec公司自1985年开始研究生产激光显微镜以来发展到***一版本的机型，它结合了两组光学器件具备激光共焦和白光共焦功能。OPTELICS?HYBRID系列激光共聚焦显微镜2020年1月15日在日本东京正式展示OPTELICS?HYBRID系列共聚焦激光扫描显微镜引入了8项硬件改进和10项新软件功能，对OPTELICS?HYBRID系列进行了全面改造。改进的机型Z方向（高度）测量精度达到0.05nm，硬件白光光源更新采用LED光源，新的软件功能包括“测量辅助”以提高易用性
和人工智能检测，以实现各种检测功能的性能。
共聚激光焦扫描显微镜广泛应用于金属材料，生物材料，高分子材料，半导体元器件等微小结构的测量，如微纳米级的断面分析，宽度，高度，表面粗糙度，膜厚，形状测定等千斗工业设备（苏州）有限公司代理销售三款日本Lasertec_Hybrid+共聚焦扫描显微镜，这三款机型分别为C3基本型白光共聚焦显微镜、L3标准型白光+激光共聚焦显微镜、L7多功
能型白光+激光共聚焦扫描+微分干涉观察+白光垂直干涉+反射分光膜厚测试L3标准型白光与激光共聚焦显微镜以及多功能机型L7搭载双光学系统，集6项功能与一体。
这6项功能分别为
一、白光共聚焦：具有24bit真彩观察，宽视野观察与测试，可根据样品特性选择合适的滤光片选择合适的波长。
白光共聚焦与一般激光显微镜相比视野范围扩大1.6倍，使用低倍镜也能达到高分辨率测试，使用接近太阳的白色光源得到高焦点深度的高精细彩色画像。另外HYBRID＋具备波长切换功能，用户可选择测试所需的最适波长范围。适用于单色光无法测定的样品，如IC芯片设计PI膜无法被蓝光穿透，蓝光观察只获得表面层形貌；用红光可以清晰的观察到膜下方的结构。
光刻胶、UV光固化树脂、有机膜等会被特定波长的光线破坏的样品，需选择最适波长进行观察与测试。
二、激光共聚焦：高放大倍数。高分辨率、高对比度。
三、搭载波长405nm的紫色半导体激光，无需前处理，以可媲美电子显微镜的高分辨率，鲜明捕捉纳米级细微构造。
四、微分干涉观察：可看到平面上纳米级损伤、异物。
五、共聚焦与微分干涉（DIC）相结合，实现细微凹凸形状的可视化。由于焦点深度极低，对于透明样品可以排除其背面的影响仅对表面进行观察。
四、垂直白光干涉测试：实现数毫米宽视野内的纳米级形状测试。
白光通过双光束干涉镜产生的干涉波形，通过垂直方向扫描找到干涉光强度点，得到样品的高度分布数据。原理上，高度分辨率不受物镜放大倍数影响，因此可使用低倍镜快速完成宽视野范围测试。
五、相差干涉测试：埃米级形状测试。
白光通过双光束干涉镜产生的干涉条纹，与从样品反射回的反射光的光程差直接相关。在垂直方向细微移动得到4组干涉图像，通过解析实现高分辨率的高度分布测试。
六、反射分光膜厚测试：纳米级透明膜的厚度测试利用波长切换功能对6个波长的反射率进行测定，光学建模计算得到膜厚。数nm～1μm的单层/多层膜厚可测定。测定区域在共聚焦观察图像上***，亚微米区域～全视野的数mm区域的平均膜厚均可测定。由各pixel的膜厚数据也可获取厚度分布结果。
以上六项具体功能可联系千斗工业设备（苏州）有限公司索取详细资料。
规范
| 观察功能 | 激光共焦，白色共焦，微分干涉观察，全色观察 |
|---|---|
| 测量功能 | 高度测量，宽度测量，表面粗糙度测量，形状特征测量，光学干涉测量，反射光谱膜厚度测量 |
| 波长选择 | 激光：405nm白色：436nm，486nm，514nm，546nm，578nm，633nm |
| 测量精度（高度测量） | 精度：±（0.11 + L / 100）μm 重复性（σ）：10nm |
| 测量精度（宽度测量） | 精度：±{0.02x（100 /物镜放大倍率）+ L / 1000}μm重复性 （3σ）：10nm |
| 帧率 | 15Hz至120Hz |
| 新安装的软件新 | LM图表，过滤器辅助，Office报告，奇异性提取软件，LMBrain |
| 选项 | 硬选项：大型/特殊工作台，自动装载器， 样品架，控制台 软件选项：自动测量（LIBRA），自动缺陷测量（LMInspect） |
